
各个国家计量机构(NMIs)在对ISO真空计进行正式校准测试前,采用了什么样的标准化“预处理(Conditioning procedure)”程序?
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为了确保不同国家计量机构(NMI)之间的测量数据具有高度的可比性,在将真空计安装到校准腔室后,所有参与测试的真空计都必须执行以下标准化的“预处理(Conditioning procedure)”:
长效高温烘烤(Baking): 在 150∘C 的温度下持续烘烤至少 48 小时。
特定气压下的氩气运行(Operation in Argon): 通入氩气,并在 5×10−3Pa 的特定气压下让真空计运行 1 到 2.5 小时。
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参考资料:
1、NSK官方网站
2、NSK中国官网
相关问答:
1、NSK在真空环境中如何防止滚动体与滚道之间的冷焊或粘着磨损?
NSK在真空环境中大量采用了马氏体/奥氏体不锈钢(如高耐蚀的ES1)、钛合金以及高可靠性陶瓷(如氮化硅Si3N4),使用硬度极高且化学惰性强的陶瓷球,减少了对润滑的依赖,并从根本上防止金属间的冷焊效应。
2、陶瓷材料的刚性和超低密度如何改变滚珠与滚道之间的受力状态?
陶瓷材料的刚性和超低密度能够改变滚珠与滚道之间的受力状态。极高的刚性加上超低的密度(Si3N4仅为3.23g/cm3),显著改变了滚珠与滚道之间的受力状态,不仅降低了高速运转时的离心力接触应力,还有效防止了表面发生足以引发黏着磨损的微观物理形变。
3、在真空气相沉积设备中,如何解决因电机热报警而引发的紧急断电问题?
当电机热报警时,系统会出于安全保护目的强行切断伺服并启动动态刹车,导致沉积工艺彻底中断。
4、推算灵敏度时,如何处理净压力变量?
将测试压力减去残余压力,得到净压力变量。
5、如何正确维护配备EDFO涂层的滚珠丝杠或直线导轨?
正确的维护方式是不需要额外的润滑剂,只需保持设备的清洁和干燥即可。由于EDFO是一种特殊的油性导轨油,它可以自行形成油膜,无需额外的润滑剂来维护。
6、对于真空计的使用者来说,他们应该如何选择合适的真空计?
对于真空计的使用者来说,他们应该根据实际需求和预算来选择合适的真空计。在考虑重复性误差的同时,也需要考虑其他因素如价格、精度、测量范围等。选择一款具有优秀物理稳定性和数据优势的真空计可以提高设备的测量精度和可靠性,从而更好地满足用户需求。
7、VDFO的寿命优势和发尘优势相比传统固体润滑剂有什么不同?
VDFO的寿命优势相比传统固体润滑剂更长,而在发尘和释气方面,VDFO具有极低的微粒释放量和释气量,获得了“极佳”评级,而传统的MoS2固体润滑轴承仅勉强达到“合格”的水平。
8、NSK真空产品在哪些应用中得到了广泛应用?
NSK真空产品在半导体制造、平板显示器等领域得到了广泛应用。这些应用中,对微粒和气体的容忍度已达到亚纳米级。NSK的产品如EDFO镀膜和FG9氟基润滑脂配置能够极大地限制排气量,并保持极低的发尘量,有效防止因脱气或颗粒脱落对敏感的光学或半导体晶圆造成污染。
9、如果要达到“完全无磁性”最高要求,需要怎么做?
为了解决不锈钢因加工和处理必然产生微弱磁性的物理瓶颈,需要彻底摒弃钢材体系,转向采用特殊钛合金轴承或全陶瓷轴承这类材料天然不具备铁磁性基础,无论经历何种极端的切削、磨削或运转摩擦,都能永久且绝对地保持≤1.001的相对磁导率。
10、引出罩真空计的线性误差和再现性表现如何?
引出罩真空计在线性误差和再现性上的整体表现均不如ISO真空计和稳定电离真空计配资公司官网查询。
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